Продукти
Порожнисте дзеркало звукової котушки
Індивідуальна конструкція дзеркала Fast Steering Mirror (FSM) для друку включає дзеркало, встановлене на опорній системі згинання, яка нахилена для спрямування лазерного променя або іншого джерела світла.Набір актуаторів звукової котушки або датчиків вихрових струмів використовуються для забезпечення спрямованого руху для повної точності та функціональності з низьким джиттером.
Система пропонує роботу як з відкритим, так і з замкнутим циклом.Для роботи в замкнутому циклі використовуються інтегровані високошвидкісні прецизійні датчики для забезпечення повної системи керування зворотним зв’язком.Завдяки своїй модульній конструкції FSM забезпечує більшу гнучкість у виборі підкладки дзеркала, розміру діафрагми, ступені нахилу та електроніці керування для задоволення будь-яких вимог місії.
| Очистити діафрагму | 30 мм | φ30~φ50 мм | φ50~φ100 мм | >φ100 мм |
| Кут падіння | ≤45” | |||
| Діапазон кутів | ←±25 мрад | |||
| Розмір дзеркала | φ60 мм | φ90 мм | φ150 мм | 《φ240 мм |
| роздільна здатність | 2 мкрад | |||
| Пропускна здатність замкнутого циклу | ≥600 Гц (@1% ходу) | 300 Гц (@1% ходу) | 150 Гц (@1% ходу) | 100 Гц (@1% ходу) |
| Stap Responsa | <1,5 мс (@1% шляху) | <3 мс (@1% ходу) | <5 мс (@1% ходу) | 10 мс (@1% шляху) |
| Повторюваність | 2урад ~5урад | |||
| Робоча температура | -40 ℃ ~ 70 ℃ | |||
| Температура зберігання | -55 ℃ ~ 85 ℃ | |||
| Антивібраційний | GJB 150.16A-2009 | |||
| Протиударний | GJB 150.18A-2009 |
