FSM використовують металеві (алюміній або берилій) або підкладки з карбіду кремнію залежно від конкретних вимог застосування.Ми можемо запропонувати дзеркала з практично будь-яким покриттям, починаючи від основних металевих покриттів і закінчуючи діелектричними покриттями з високою відбивною здатністю, розробленими для застосування лазерів високої енергії (HEL).FSM BlueHalo забезпечують високе прискорення;>10 000 радіан/сек2 для нашого FSM класу 1”-2”.Наші FSM забезпечують високу смугу пропускання (>1 кГц оптично або позиційно, залежно від розміру) і забезпечують низьке тремтіння <1 мкрад.
Розмір дзеркала | 4 дюйми | 6 дюймів | 8 дюймів | 10 дюймів | >10 дюймів | 4 дюйми | 6 дюймів | 8 дюймів | 10 дюймів | >10 дюймів |
роздільна здатність | 1~3 мкрад | 3~5 мкрад | 1~3 мкрад | |||||||
Пропускна здатність замкнутого циклу | 100~300 Гц(@1% ходу) | 10 ~ 200 Гц (@1% ходу) | ||||||||
Відповідь на крок | 4~10ms(@1% шляху) | 3 ~ 30 мс(@1% шляху) | ||||||||
Діапазон кутів | ≤ ±25 мрад | |||||||||
Повторюваність | ≤±5 мкрад | ≤±3 ~ ±10 мкрад | ||||||||
Робоча температура | -40 ℃ ~ 70 ℃ | |||||||||
Температура зберігання(℃) | -55 ℃ ~ 85 ℃ | |||||||||
Антивібраційний | GJB 150.16A-2009 | |||||||||
Антиударний | GJB 150.18A-2009 |